磊晶處理后的滑線檢查技術
即時顯示所有表面狀態。
光學系統對應等級１。
光學系統無須維護。
根據檢測內容，可修正檢測靈敏度。
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| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標準設備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續調整 |
| 使用光源 | 550nm?。ü潭ㄕ斩戎€定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺 | 手動平臺（標準設備） |
| 鏡面晶圓的表面檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡面基板檢測 |
| 電動馬達檢測平移臺 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機 |
