ulvac真空計的故障排除
1.由于靈敏度是用氮氣校準的，如果殘留氣體的主要成分不是氮氣，則顯示值與實際壓力不同。
2.當測量含有氧氣或水蒸氣的氣體時，燈絲會迅速反應并劣化。
為了減少消耗，要么降低發射電流，要么使用具有三層涂層表面的燈絲。
3.在測量10 -4 Pa 或更低的壓力時，需要對探頭本身進行脫氣。
開始脫氣時，大量釋放的氣體會增加壓力，反過來可能會污染探頭。請務必在 10 -4 Pa 以下進行脫氣。
4.請注意，在高壓（三極管型：10 -1 Pa 或更高）下連續使用會導致燈絲快速磨損，從而無法獲得恒定的發射電流。
1.探頭燈絲不亮
2.探頭燈絲發出異常光（燈絲瞬間亮后熄滅54.燈絲亮但不顯示壓力
3.比平時亮）指示值波動6.指示值與預期壓力明顯不同7.未輸出設定值信號
1.寫筆燈絲不亮
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 斷絲 | 接點更換 |
| 探頭電纜斷開 | 探頭電纜的維修和更換 |
| 由于高壓 | 用皮拉尼真空計等檢查壓力。 |
| 燈絲選擇開關設置錯誤 | 選擇正確的燈絲 |
2.探頭燈絲發出異常光（比平時亮）
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 探頭電纜斷開 | 探頭電纜的維修和更換 |
| 控制器故障 | 要求維修 |
| 接觸點劣化 | 接點更換 |
3.燈絲亮但不顯示壓力
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 探頭電纜斷開 | 探頭電纜的維修和更換 |
| 控制器故障 | 要求維修 |
4.燈絲亮片刻，然后快速熄滅
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 保護電路工作是因為被測壓力很高。 | 用皮拉尼真空計等檢查壓力。 |
| 控制器故障 | 要求維修 |
5.指標波動
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 探頭或連接探頭的連接處出現真空泄漏 | 更換手寫筆或改善連接處的真空泄漏 |
| 觸控筆上的污染 | 接點更換 |
| 探頭電纜在振動 | 如果探頭電纜不斷振動，指示值可能會因探頭電纜內部的摩擦電動勢而波動，因此請重新考慮電纜安裝方法。 |
6.指示值與預期壓力有顯著差異
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 發生漏電流 | 因接觸點臟污和接觸點電纜絕緣不良而更換。 |
| ?靈敏度系數設置不正確 ?被測氣體不是氮氣或空氣。 | 根據手冊正確設置 |
| 壓力實際上與預期不同 | 與其他真空計檢查 |
7.無設定點信號輸出
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 更換控制器中的繼電器 | 繼電器損壞 → 要求維修 |
| 發射電流失控 | 如果發射變為 NG，設定值信號的輸出也會被取消 → 更換測針 |
8.停止發射電流流動的原因及對策
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 高壓（10 -1 Pa 或更高） | 排氣系統檢查 |
| 斷絲 | 接點更換 |
| 燈絲磨損 | 接點更換 |
| 觸控筆內部有污垢 | 接點更換 |
| 探頭電纜接觸不良/斷開 | 重新連接或更換探頭電纜 |
| 控制器電源電路故障 | 要求維修 |
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