日本昭和ssvi直線電動機式主動隔振裝置VAAV-S
使用原始的主動隔振算法進行高速計算，并且不使用空氣的超高速響應線性致動器和超靈敏的速度傳感器立即消除了振動。
由于空氣彈簧僅用于負載支撐，因此，如果壓縮機和電源較小，則使用超靈敏的速度傳感器進行前饋可提供世界上gao水平的隔振性能，該傳感器也安裝在地面側。
此外，與VAAV-L系列一樣，使用了柔軟的空氣彈簧，從而實現了該系列中gao的隔振性能。
日本昭和ssvi直線電動機式主動隔振裝置VAAV-S
| 模型 | 可安裝質量（1個單位） | 尺寸（1個單位） |
|---|---|---|
| VAAV-1000S | 500-1700公斤 | 190（寬）x 190（深）x 178（高）mm |
| 控制器 SEC-03 | 335（寬）x 410（深）x 130（高）mm |
|---|---|
| 控制自由 | 3軸6自由度 |
| 振動傳遞函數 | 參見下面的圖1和圖2 |
| 所需氣源 | 0.5MPa以上消耗流量相當于被動 |
| 所需功率 | AC100V-240V 200VA（單相） |
| 控制方式 | 速度反饋，地板前饋 |
| 大推力 | 水平：20N垂直：40N注）當用作4個單位/單位時 |
| 產生的磁場 | 0.04μT以下注）距本機150mm處的交流磁場 |
